Ultraviolet lithography of self-assembled monolayers for submicron patterned deposition

  1. Friebel, S.
  2. Aizenberg, J.
  3. Abad, S.
  4. Wiltzius, P.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 2000

Volumen: 77

Número: 15

Páginas: 2406-2408

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.1316066 GOOGLE SCHOLAR
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