Ultraviolet lithography of self-assembled monolayers for submicron patterned deposition

  1. Friebel, S.
  2. Aizenberg, J.
  3. Abad, S.
  4. Wiltzius, P.
Zeitschrift:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 77

Nummer: 15

Seiten: 2406-2408

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.1316066 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus