Ultraviolet lithography of self-assembled monolayers for submicron patterned deposition

  1. Friebel, S.
  2. Aizenberg, J.
  3. Abad, S.
  4. Wiltzius, P.
Aldizkaria:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Argitalpen urtea: 2000

Alea: 77

Zenbakia: 15

Orrialdeak: 2406-2408

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.1316066 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus