Low-to-Mid Al Content (x = 0–0.56) AlxIn1−xN Layers Deposited on Si(100) by Radio-Frequency Sputtering
- Blasco, R.
- Valdueza-Felip, S.
- Montero, D.
- Sun, M.
- Olea, J.
- Naranjo, F.B.
ISSN: 1521-3951, 0370-1972
Año de publicación: 2020
Volumen: 257
Número: 4
Tipo: Artículo